日本電子電鏡是一種用途廣泛的多功能儀器，具有很多*的性能，重要特點(diǎn)是景深大，圖像富立體感，具有三維形態(tài)。它可以進(jìn)行三維形貌的觀(guān)察和分析，當然，還可以進(jìn)行微區的成分分析等其他方面的應用。表面分析是指對材料的表面特性和表面現象進(jìn)行觀(guān)察分析、測量的方法和技術(shù)，是掃描電鏡基本、普遍的用途。通常用二次電子成像，來(lái)觀(guān)察樣品表面的微觀(guān)結構、化學(xué)組成等情況。

　　原子序數襯度是利用對樣品表層微區原子序數或化學(xué)成分變化敏感的物理信號，如背散射電子、吸收電子等作為調制信號而形成的一種能反映微區化學(xué)成分差別的像襯度。實(shí)驗證明，在實(shí)驗條件相同的情況下，背散射電子信號的強度隨原子序數增大而增大。在樣品表層平均原子序數較大的區域，產(chǎn)生的背散射信號強度較高，背散射電子像中相應的區域顯示較亮的襯度；而樣品表層平均原子序數較小的區域則顯示較暗的襯度。由此可見(jiàn)，背散射電子像中不同區域襯度的差別，實(shí)際上反映了樣品相應不同區域平均原子序數的差異，據此可定性分析樣品微區的化學(xué)成分分布。

　　日本電子電鏡的樣品處理方法：

　?。?）對于新鮮的金屬斷口樣品不需要做任何處理，可以直接進(jìn)行觀(guān)察。

　?。?）樣品表面附著(zhù)有灰塵和油污，可用有機溶劑（乙醇或丙酮）在超聲波清洗器中清洗。

　?。?）樣品表面銹蝕或嚴重氧化，采用化學(xué)清洗或電解的方法處理（或用醋酸纖維素沾）。清洗時(shí)可能會(huì )失去一些表面形貌特征的細節，操作過(guò)程中應該注意。

　?。?）對于不導電的樣品，觀(guān)察前需在表面噴鍍一層導電金屬或碳，鍍膜厚度控制在5-10 nm為宜。

　?。?）對于斷口表面有脫落附物又必須要觀(guān)察脫落物的樣品，用醋酸纖維素做斷口覆膜，然后觀(guān)察醋酸纖維素覆膜即可。